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    热烈祝贺东方集成功在上海某研究所安装了SENTECH SI500D等离子体沉积系统

    •2024-10-21

    2012年3月,东方集成在上海某研究所成功安装了SENTECH SI500D等离子体沉积系统。SI500D等离子沉积系统是ICP-PECVD设备,用于在基片上沉积SiOx, SiOxNy或SiNy薄膜。沉积薄膜的厚度、折射率、应力可以......

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